激光脈沖沉積設(shè)備

北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司為您提供激光脈沖沉積設(shè)備。1. 濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸ф300mm，選用真空---
304#不銹鋼材料制造氬弧焊接，表面進(jìn)行噴玻璃丸處理。各法
蘭口按真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用金屬密封。
2. 采用一套600l/s分子泵+4l/s機(jī)械泵通過cf150真空閘
板閥進(jìn)行主抽，通過cf35角閥旁抽。
3. 封接觀察窗2個(gè)， ф100石英玻璃窗口1個(gè)(248nm紫外波段，
供激光入射用的)
4. 電磁隔斷放氣閥：北京kf40 1臺(tái)。
5. 分子泵與機(jī)械泵連接金屬波紋管 1套； 機(jī)械泵與真空室之間的
旁抽金屬波紋管管路及cf35角閥1套。
6. cf150閘板閥：用于分子泵與真空室隔離。
7. 真空測量及電控系統(tǒng)1套，zdf數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)全部采
用金屬規(guī)管 1臺(tái) 。
8. 總控電源：為機(jī)械泵、真空計(jì)等提供電源，有斷電斷水缺相保護(hù)
功能1套。
9. 機(jī)架：---方鋼型材40mm×40mm×3，焊接成，，四只腳
輪，可固定，可移動(dòng)。
10.附件相關(guān)規(guī)格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈全套不銹鋼緊固螺
栓、螺母、墊片等；全套無氧銅密封墊圈相關(guān)規(guī)格cf16：3
個(gè)；cf35：3個(gè)；cf150：2個(gè)；cf100:4個(gè)；
11.相關(guān)的技術(shù)資料各類外購件使用說明書：設(shè)備結(jié)構(gòu)原理圖及關(guān)鍵部件結(jié)
構(gòu)圖1套電控系統(tǒng)原理結(jié)構(gòu)圖1套裝箱單1套設(shè)備出廠合
格檢驗(yàn)證明1套
11.工作條件及主要技術(shù)參數(shù)：供電：～380v三相五線供電系統(tǒng)容量
5kw。相對濕度；≤80﹪。

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