任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐

唐山任氏巨源微波儀器有限公司為您提供任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐。一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐特點(diǎn)：
1. 高溫微波化學(xué)氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時(shí)加熱多個(gè)溫區(qū)，且加熱區(qū)長(zhǎng)度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和分子泵，可達(dá)10-3pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭鉸鏈結(jié)構(gòu)，耐高溫、耐腐蝕；
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或vcr接口，安裝方便；
6、爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
7、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵 擴(kuò)散泵和分子泵，真空密度計(jì)
8、可通過(guò)電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)/model wbmw-qxcj4
可加熱材料 非易燃易爆的任何材料
微波頻率 2.45ghz±50mhz
加熱方式 純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
微波功率/kw 4 (功率可調(diào))
溫度測(cè)試元件 微波場(chǎng)---傳感器
控溫精度/℃ ±2微波場(chǎng)---傳感器
加熱管材質(zhì) 石英管 高溫合金管 剛玉管
加熱溫度/℃ 1200 1200 1600
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)x長(zhǎng)度)/mm 45/ 35×1200，可選配外徑 60
加熱速度 ≦200 升溫速率不限 ≦50
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 標(biāo)配恒溫區(qū)長(zhǎng)度100mm，恒溫去長(zhǎng)度100mm以上可定制
溫區(qū) 可多溫區(qū)同時(shí)加熱
氣路法蘭 304不銹鋼法蘭
流量控制 美國(guó)alicat流量&控制器、七星華創(chuàng)流量&控制器 氣柜、氣路及各類(lèi)閥門(mén)，可配套計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)及軟件
氣路數(shù)量 2路或3路
流量范圍 0-1slm(標(biāo)準(zhǔn)升/分，可選配氮?dú)鈽?biāo)定
精度 ±0.2%f.s
響應(yīng)時(shí)間 ≤1sec
工作壓力 進(jìn)氣壓力0.05-0.35mpa(表壓力，流量規(guī)格≤10slm
系統(tǒng)連接方式 采用kf快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x
系統(tǒng)真空范圍 標(biāo)準(zhǔn)---壓～10-3pa
真空泵 簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭
10-1pa真空機(jī)械泵及真空計(jì)
10-2pa真空機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì)
10-3pa真空機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)
爐腔尺寸/mm 700x350x530
加熱腔(標(biāo)配) 0.5-3l 2個(gè)
加熱腔大小 0.94l，2.12l，3.8l
升溫速率(標(biāo)配) 0～1000℃/min可根據(jù)實(shí)際任意設(shè)定，可編程、分段加熱
外型尺寸/mm 15007501560
微波泄漏/ mw/cm2 ≤0.4
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