手動探針臺手動測試晶圓探針臺失效分析IV測試光電測試探針架探針座

濟南創(chuàng)譜儀器有限公司為您提供手動探針臺手動測試晶圓探針臺失效分析iv測試光電測試探針架探針座。產(chǎn)品信息：
在實際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了不需要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺chuck，真空吸附系統(tǒng)；
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達到較好得使用效果
技術(shù)參數(shù)：
◆樣品臺xyzr四維調(diào)節(jié)，xy行程根據(jù)樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定，z軸行程10mm，xyz整體分辨率3μm，360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試
◆整體尺寸小，方便攜帶，底部隔振地腳，提高測試穩(wěn)定性
◆漏電流精度：10pa/100fa屏蔽箱內(nèi)
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽，線性移動，無回程差設(shè)計
◆1微米以上電極/pad使用
◆u型探針架，可以放置多個探針座
◆多被用于晶圓測試、led測試、功率器件測試、mems測試、pcb測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；廣泛用于科研院校以及公司！
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