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低頻電源提供600w、1000w功率輸出，頻率范圍350khz-450khz。機箱整體采用半機箱結(jié)構(gòu)設(shè)計使其體積更小便于安裝。

應(yīng)用對象

該電源作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。應(yīng)用對象包括：刻蝕、pecvd、pvd等系統(tǒng)
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