以下是賽米萊德為您一起分享的內(nèi)容,賽米萊德生產(chǎn)光刻膠,歡迎新老客戶蒞臨。
光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用(或?qū)﹄娮幽芰棵舾?的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外-或電子束曝照?qǐng)D案的媒介。光刻膠的英文名為resist,又翻譯為抗蝕劑、光阻等。因?yàn)楣饪棠z的作用就是作為抗刻蝕層保護(hù)襯底表面。光刻膠只是一種形象的說法,因?yàn)楣饪棠z從外觀上呈現(xiàn)為膠狀液體。
光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當(dāng)紫外光或電子束的照射時(shí),光刻膠材料本身的特性會(huì)發(fā)生改變,經(jīng)過顯影液顯-,nr29 25000p光刻膠,-的負(fù)性光刻膠或未-的正性光刻膠將會(huì)留在襯底表面,nr29 25000p光刻膠報(bào)價(jià),這樣就將設(shè)計(jì)的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到了光刻膠上,而后續(xù)的刻蝕、沉積等工藝,就可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠下面的襯底上,后再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了。
光刻膠按其形成圖形的極性可以分為:正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。正膠指的是聚合物的長鏈分子因光照而截?cái)喑?分子;負(fù)膠指的是聚合物的-分子因光照而交鏈長鏈分子。 -分子聚合物可以被顯影液溶解掉,因此正膠的-部分被去掉,nr29 25000p光刻膠公司,而負(fù)膠的-部分被保留。
光刻膠一般由4部分組成:樹脂型聚合物resin/polymer,溶劑solvent,光活性物質(zhì)photoactive compound,pac,添加劑additive。 其中,樹脂型聚合物是光刻膠的主體,它使光刻膠具有耐刻蝕性能;溶劑使光刻膠處于液體狀態(tài),便于涂覆;光活性物質(zhì)是控制光刻膠對(duì)某一特定波長光/電子束/離子束/x射線等感光,并發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng);添加劑是用以改變光刻膠的某些特性,如控制膠的光吸收率/溶解度等。
注意事項(xiàng):
若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;
看光刻機(jī)型式,若是投影方式,用常規(guī)負(fù)膠時(shí)氮?dú)猸h(huán)境可能會(huì)有些問題
負(fù)性膠價(jià)格成本低,正性膠較貴;
工藝方面:負(fù)性膠能-地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
健康方面:負(fù)性膠為有機(jī)溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,nr29 25000p光刻膠廠家,對(duì)健康、環(huán)境無害。
以上內(nèi)容由賽米萊德為您提供,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助!
正性光刻膠和負(fù)性光刻膠
光刻膠可依據(jù)不同的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類。按照化學(xué)反應(yīng)和顯影的原理,光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。如果顯影時(shí)未-部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相反,稱為負(fù)性光刻膠;如果顯影時(shí)-部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相同,稱為正性光刻膠。
在實(shí)際運(yùn)用過程中,由于負(fù)性光刻膠在顯影時(shí)容易發(fā)生變形和膨脹的情況,一般情況下分辨率只能達(dá)到 2 微米,因此正性光刻膠的應(yīng)用更為廣泛。
|