普通的清洗方法一般不能達到孔內(nèi)，而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會在后序工藝中會產(chǎn)生重復(fù)污染。無論是采用清洗液清洗都容易引入新的污染源，然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實現(xiàn)無重復(fù)污染，而且能深入mcp孔內(nèi)的效果。對不同材料及孔徑的mcp應(yīng)采用頻率、聲強可調(diào)的超聲波進行實驗，以確定實際工藝參數(shù)。對孔徑6~12μmmcp的清洗，當(dāng)媒液為水和-時，可采用空化閾約1/3 w/cm2，聲強10~20 w/cm2，頻率20~120 khz的超聲波進行清洗。表1是同一段不同板號的mcp采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測試結(jié)果。由檢測結(jié)果可見，對1μm以下的小顆粒污染物，應(yīng)選用頻率40 khz以上的超聲波進行清洗。
設(shè)備特點:
1.設(shè)備清洗方式采用超聲波清洗+旋轉(zhuǎn)助洗方式，可有效清洗產(chǎn)品的盲孔難洗部位，達到預(yù)期效果
2.整機采用plc控制，自動化程度高，株洲酸，清洗干燥過程中無需人工操作，酸刻蝕臺，有效減低了勞動強度，節(jié)省了人力資源
3.可設(shè)定多套清洗工藝，滿足不同產(chǎn)品的清洗要求
4.主要工藝流程配旋轉(zhuǎn)洗蘭： 洗劑噴淋***洗劑超聲清洗***超聲漂洗***鼓泡漂洗***熱漂洗***離心拋干+熱風(fēng)攪拌***熱風(fēng)循環(huán)干燥***真空干燥***靜電消
1.該設(shè)備為單工位多工能清洗工藝，主要由：旋轉(zhuǎn)洗劑刷洗、旋轉(zhuǎn)噴淋漂洗及旋轉(zhuǎn)甩干三部分組成；整個清洗流程為全自動工作方式；只需人員完成放料出即可；
2.該設(shè)備設(shè)計合理，充分考慮了和節(jié)能的要求；
3.采用全封閉式結(jié)構(gòu)，設(shè)備封罩前、上、左右設(shè)透明鋼化玻璃；可時時觀察產(chǎn)品清洗情況；
4.設(shè)備后部設(shè)有洗劑副槽和漂洗水副槽，設(shè)備底部設(shè)有各自供液泵；
5、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)主要由：電機、旋轉(zhuǎn)基座、旋轉(zhuǎn)盤、產(chǎn)品及工裝組成；
6、旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速由三菱變頻器控制；
7、設(shè)封罩上設(shè)有排氣口，酸刻蝕機，保持運行時的風(fēng)始終外溢，避免清洗室內(nèi)產(chǎn)生水汽，也不會對清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染；
8、設(shè)備正面設(shè)有后翻式氣缸門，供進出料用；
9、每個工藝工序清洗、刷干時間可跟據(jù)實際情況在觸摸上設(shè)定；
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