系統(tǒng)檢漏-北京科儀-公司-SF6充氣柜真空箱系統(tǒng)檢漏

-質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見(jiàn)圖2)，位于隔熱板的上方：檢漏儀測(cè)試口與閥門(mén)組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到-震動(dòng)，此處容易造成密封膠開(kāi)裂。各電磁閥與閥門(mén)組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，sf6充氣柜真空箱系統(tǒng)檢漏，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，密封性系統(tǒng)檢漏，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開(kāi)，避免風(fēng)扇將-源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制-源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。

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