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氣體傳感器規(guī)格人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)sno2、zno、fe2o3、cr2o3、mgo、nio2等材料都存在氣敏效應(yīng)。用這些金屬氧化物制成的氣敏薄膜是一種阻抗器件,氣體分子和敏感膜之間能交換離子,發(fā)生還原反應(yīng),引起敏感膜電阻的變化。作為傳感器還要求這種反應(yīng)必須是可逆的,即為了消除氣體分子還必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進程。
氣體傳感器種類選擇性是氣體傳感器的關(guān)鍵性能。如sno2薄膜對多種氣體都敏感,如何提高sno2氣敏器件的選擇性和靈敏度一直是研究的重點。主要措施有:在基體材料中加入不同的---或金屬氧化物催化劑,設(shè)置合適的工作溫度,利用過濾設(shè)備或透氣膜外過濾敏感氣體。
氣體傳感器定做氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導通電壓發(fā)生改變,這一特性如果發(fā)生在場效應(yīng)管的柵極,將使場效應(yīng)管的閾值電壓ut改變。利用這一原理可以制成mosfet型氣敏器件。氫氣敏mosfet是一種典型的氣敏器件,它用金屬鈀(pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催化作用,氫氣分子分解成氫原子擴散到鈀與二氧化硅的界面,終導致mosfet的閾值電壓ut發(fā)生變化。使用時常將柵漏短接,可以---mosfet工作在飽和區(qū),此時的漏極電流id=β(ugs—ut)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。
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