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中國應用充電電池現(xiàn)況中國應用數(shù)多的工業(yè)生產(chǎn)充電電池為鉛酸蓄電池,鉛占電瓶固定成本50%左右,關(guān)鍵選用火法、濕法冶金加工工藝及其固相電解法復原技術(shù)性。機殼為塑膠,能夠再造,基礎(chǔ)保持無污染。
中小型再次充電電池現(xiàn)階段中國的應用總產(chǎn)量只能上億只,且大部分容積較小,廢舊電池運用使用價值較低,再加應用分散化,絕大多數(shù)作城市垃圾處理,其收購存有著成本費和管理工作的難題,再造運用也存有必須的技術(shù)性難題。
廢舊電池做為生活垃圾處理開展集中處理時,廢舊電池中的hg、cd、pb、zn等金屬鎘部分在高溫下人空氣,部分變成脫硫石膏,造成污染。
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影響因素
1 .頻率
射頻 pecvd 系統(tǒng)大都采用 50khz~13.56 mhz 的工業(yè)頻段射頻電源。較高頻率 >;4mhz 沉積的氮化硅薄膜具有-的鈍化效果和穩(wěn)定性。
2 .射頻功率
增加 rf 功率通常會- sin 膜的。但是,功率密度不宜過大,超過 1w/cm2 時器件會造成---的射頻損傷。
3 .襯底溫度
pecvd 膜的沉積溫度一般為 250 ~ 400 ℃ 。這樣能-氮化硅薄膜在hf 中有足夠低的腐蝕速率,并有較低的本征壓力,從而有-的熱穩(wěn)定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉積的氮化硅膜,本征應力很大且為張應力,而溫度高于 450 ℃ 時膜容易龜裂。
4 .氣體流量
影響氮化硅膜沉積速率的主要氣體是 sih4 。為了防止富硅膜,選擇nh3/sih4=2~20 體積比。氣體總流量直接影響沉積的均勻性。為了防止反應區(qū)下游反應氣體因耗盡而降低沉積速率,通常采用較大的氣體總流量,以-沉積的均勻性。
5 .反應氣體濃度
sih4 的百分比濃度及 sih4/nh3 流量比,對沉積速率、氮化硅膜的組分及物化性質(zhì)均有重大影響。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉積的氮化硅的化學計量比會隨工藝不同而變化,但多為富硅膜,可寫成 sin 。因此,必須控制氣體中的 sih4 濃度,不宜過高,并采用較高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般還包含一定比例的氫原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反應壓力、和反應室尺寸 等都是影響氮化硅薄膜的性能工藝參數(shù)。
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