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工作原理

片機(jī)械泵的結(jié)構(gòu)如圖一所示，主要由圓柱空腔定子、偏心轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、頂蓋和排氣閥等零件組成。偏心轉(zhuǎn)子的頂端始終保持與泵體定子內(nèi)腔接觸，當(dāng)偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。轉(zhuǎn)子上開有兩個(gè)滑槽，分別安裝一個(gè)旋片，中間有一個(gè)彈簧，當(dāng)旋片隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，借助彈簧張力和離心力，使兩旋片緊貼在定子內(nèi)壁滑動(dòng)。整個(gè)空腔放在油箱內(nèi)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙形空間分隔成a、b、c三個(gè)部分，分別叫做吸氣腔、壓縮腔和排氣腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與進(jìn)氣口相通的空間a的容積不斷地增大，真空泵葉片，a空間的壓強(qiáng)不斷地降低，當(dāng)a空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的

性能參數(shù)

通常擴(kuò)散泵的性能是以---真空、反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?.---真空如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，清遠(yuǎn)真空泵葉片，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能------，真空泵葉片分銷商，---真空可達(dá)到---的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10-1~10-6pa，起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的---壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，將真空度抽到10-1pa后才能開始工作。

是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。靠泵腔內(nèi)一對(duì)葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。羅茨真空泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排---。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，

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