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擴(kuò)散工藝
擴(kuò)散目的
在來料硅片 p 型硅片的基礎(chǔ)上擴(kuò)散一層 n 型磷源,形成 pn 結(jié)。
擴(kuò)散原理
pocl 3 在高溫下 >; 600 ℃ 分解生成五--- pcl 5 和五氧化二磷 p 2 o 5 , 其反應(yīng)式如下 :
5pocl 3=3pcl 5 +p 2 o 5
生成的 p 2 o 5 在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng) , 生成二氧化硅 sio 2 和磷原子 , 其反應(yīng)式如下 :
2p 2 o 5+ 5si = 5sio 2 + 4ppocl 3
熱分解時,如果沒有外來的氧 o 2 參與其分解是不充分的,生成的 pcl5 是不易分解的,并且對硅有腐蝕作用,破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來 o2 存在的情況下, pcl 5 會進(jìn)一步分解成 p2o 5 并放出--- cl 2 其反應(yīng)式如下:
4pcl 5 +5o 2=2p 2 o 5 +10cl 2
生成的 p 2 o 5 又進(jìn)一步與硅作用,生成 sio 2 和磷原子,由此可見,在磷擴(kuò)散時,為了促使 pocl3 充分的分解和避免 pcl 5 對硅片表面的腐蝕作用,必須在通氮?dú)獾耐瑫r通入一定流量的氧氣。就這樣 pocl 3 分解產(chǎn)生的 p 2 o 5 淀積在硅片表面, p 2o 5 與硅反應(yīng)生成 sio 2 和磷原子,并在硅片表面形成一層磷 - 硅玻璃,然后磷原子再向硅中進(jìn)行擴(kuò)散。
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電池片流程
擴(kuò)散制結(jié): 太陽能電池需要一個大面積的 pn 結(jié)以實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)化, 而擴(kuò)散爐就是制造太陽能電池p-n 結(jié)的-設(shè)備。擴(kuò)散用---為擴(kuò)散源。在 830 度的高溫下用氮?dú)鈱?--帶入石英容器,通過---和硅片進(jìn)行反應(yīng),得到磷離子,通過硅原子質(zhì)檢的空隙向硅片內(nèi)擴(kuò)散,形成 p-n 結(jié)。
需注意 :
石英舟一舟可放置 500 片, 擴(kuò)散面需跟制絨面在同一面上,擴(kuò)散為單面擴(kuò)散,工藝流程為 83 分鐘。
濕法刻蝕: 利用 hno3 和 hf 的混合液體對擴(kuò)散后硅片下表面和邊緣進(jìn)行腐蝕 , 去除邊緣的 n 型硅 , 使得硅片的上下表---互絕緣。
需注意 : 刻蝕分為干濕兩法 ,目前采用濕法,刻蝕后需做親水性測試。
如何判斷親水性是否-?
用純水滴在硅片上看硅片上的擴(kuò)散面積。機(jī)械臂流片需要返工因臭氧層丟失。
pevcd: 鍍減反射膜可以有效降低光的反射 .
需注意 : 石墨舟一周可放置 240 片硅片,流程為 50 分鐘, 在此階段會發(fā)生色斑,色差等問題。
絲網(wǎng)印刷 : 把帶有圖案的模版附著于絲網(wǎng)上進(jìn)行印刷 , 通常絲網(wǎng)由尼龍、聚酯、絲綢或金屬網(wǎng)制作而成 , 承印物直接放在帶有模版的絲網(wǎng)下面,漿料在刮刀的擠壓下穿過絲網(wǎng)間的網(wǎng)孔 , 只有圖像部分能穿過,印刷到承印物上印刷流程為背電極——背電場——正電極。
需注意 : 斷柵 問題會出現(xiàn)在此工藝段。也是電池片的后一大工藝段。
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中國應(yīng)用充電電池現(xiàn)況中國應(yīng)用數(shù)多的工業(yè)生產(chǎn)充電電池為鉛酸蓄電池,鉛占電瓶固定成本50%左右,關(guān)鍵選用火法、濕法冶金加工工藝及其固相電解法復(fù)原技術(shù)性。機(jī)殼為塑膠,能夠再造,基礎(chǔ)保持無污染。
中小型再次充電電池現(xiàn)階段中國的應(yīng)用總產(chǎn)量只能上億只,且大部分容積較小,廢舊電池運(yùn)用使用價值較低,再加應(yīng)用分散化,絕大多數(shù)作城市垃圾處理,其收購存有著成本費(fèi)和管理工作的難題,再造運(yùn)用也存有必須的技術(shù)性難題。
廢舊電池做為生活垃圾處理開展集中處理時,廢舊電池中的hg、cd、pb、zn等金屬鎘部分在高溫下人空氣,部分變成脫硫石膏,造成污染。
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