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半導體真空泵應用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應室與真空泵，其成分可能-復雜，如sih4與o2在泵口形成sio2，ticl4水解會形成hcl；假設(shè)是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也。所以需要及時的清洗，并在-的時候設(shè)置過濾設(shè)備。
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常見的用法是：將手動泵安裝在水環(huán)真空泵的抽氣孔上或靠近水泵的進水管路上，無紡布-真空泵工廠，進行抽氣引水，使之成為水環(huán)真空泵開機時充水的工具，從而省掉了水泵進水管路上的底閥，減少了能量損耗，提高了水泵裝置的效率。
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水環(huán)真空泵濾芯要經(jīng)常進行檢查，以免出現(xiàn)故障影響整個設(shè)備，并且在濾芯使用一段時間之后，盡量更換一下，不能說將就著還能用，就湊合用，這樣子對機器影響會非常大，損壞也是很大的。
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