每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的a。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于a，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1k級別。
無塵室的優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
若能實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的�？刂茪饬骺煞乐刮⒘Ｗ永鄯e，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。
對于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個程序上的規(guī)定也不一樣。必須時刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會污染衣服。如果需要戴手套，必須使用潔凈室的無粉乳膠手套或者膠手套。因為有的人對乳膠中的蛋白質(zhì)---，如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點，無塵室設(shè)備搬遷移位注意事項，建議改用膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換，但不能在潔凈室里更換，只能在更衣室里更換手套。不要---拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。
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