(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),位于隔熱板的上方:檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運(yùn)輸過程中如遇到-震動,此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開,避免風(fēng)扇將-源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準(zhǔn)確。噴吹時,要嚴(yán)格控制-源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。儀器的反應(yīng)時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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-質(zhì)譜檢漏儀原理的-質(zhì)譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);
2.檢測的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數(shù)據(jù);
5.自動生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。
-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
1便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
2高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可-數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
3自動化程度高:自動校準(zhǔn)-峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4全無油的干式檢漏:有些生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
5檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,范圍很寬,不僅可檢測-氣,而且能檢測其它氣體。
-質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。-質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。
檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍,該時間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴-的較小間隔時間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴-。
清除時間在理論上與響應(yīng)時間相同,但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者-,在測試到數(shù)量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
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